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俄首台350納米光刻機將在莫斯科生產

俄首台350納米光刻機將在莫斯科生產

俄羅斯衛星通訊社

莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧在其 “電報” 頻道的賬號上發文稱，莫斯科“澤列諾格勒納米技術中心”公司已完成了俄羅斯首台350納米光刻機的研發工作，這是生產微芯片的關鍵設備。 2025年3月24日, 俄羅斯衛星通訊社

2025-03-24T19:13+0800

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索比亞寧寫道：“全球有能力製造這一微芯片關鍵生產設備的不到10個，如今，俄羅斯也躋身其中。我們已向過渡到自主生產微電子產品和國家技術完全獨立上邁出了最重要的一步。” 他還指出，俄羅斯的這一設備與外國類似設備有著非常大的不同，俄羅斯的這一設備首次使用固體激光器來作為輻射裝置，而不是汞燈，固體激光器功率大、能效高、耐用性強、光譜更窄。 莫斯科“澤列諾格勒納米技術中心”公司總經理阿納托利·科瓦列夫說道：“我們公司已按照國家合同完成了俄羅斯首台350 納米拓撲結構的投影式光刻機的研發工作。這一項目是與白俄羅斯“Planar”工廠合作實施完成的。在2024 年 12 月測試成功後，這一光刻機就獲得了國家委員會的認可，並記錄了所有申報的技術特徵。目前已有客戶購買了這一設備，現在這一設備的工藝流程正根據最終用戶對生產的特殊要求進行調整。” 研發這一光刻機的目的是使現有的微電子生產設備現代化，並為生產某一類產品裝備新的微電子生產設備，例如為電力電子和光子學領域的產品，其工作區域面積顯著增加，達 22x22毫米，可加工最大直徑為200毫米的晶片。 莫斯科市投資和工業政策局指出，“莫斯科科技城”經濟特區入駐企業“澤列諾格勒納米技術中心”公司研發的光刻機在各種領域（在汽車、航空航天、工業自動化和消費電子產品等）的微電子產品的生產中需求量很大。 “澤列諾格勒納米技術中心”公司已做好了批量生產這一新設備的準備。此外，這一中心目前正在按第二份國家合同繼續開展 130 納米光刻機的研發工作，預計於 2026 年完成。 莫斯科政府部長兼投資和工業政策局局長阿納托利·加爾布佐夫評論道：“莫斯科是俄羅斯微電子發展的中心。如今莫斯科約佔俄羅斯微電子企業總營收的40%。微電子學和光子學的發展在城市和商業領域的各個行業都有著廣闊的應用前景，包括光通信、傳感技術、無線電光子學等諸多方向。‘莫斯科科技城’經濟特區的入駐企業目前正在實施一系列重大項目，每個項目都旨在生產具有戰略意義的產品。”

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