https://big5.sputniknews.cn/20261109/1074002865.html

中國新一代光刻機模型亮相第九屆中國進博會

中國新一代光刻機模型亮相第九屆中國進博會

俄羅斯衛星通訊社

上海微電子裝備集團（簡稱“SMEE”）在第九屆中國國際進口博覽會上攜自主研發的新一代前道乾式掃描投影光刻機SSC800、SSB800（模型）亮相中國館，展示中國前道光刻裝備自主化的階段性成果。 2026年11月9日, 俄羅斯衛星通訊社

2026-11-09T11:03+0800

2026-11-09T11:03+0800

2026-11-09T11:03+0800

中國

科技

中國國際進口博覽會

https://cdn.sputniknews.cn/img/07ea/0b/09/1074002366_0:56:1080:664_1920x0_80_0_0_08ea7025df34948853fc3d402168f77c.jpg

SMEE在微信公眾號表示，本次展出的模型採用透明剖視設計，直觀呈現整機光學光路與內部機電系統的鏈路佈局。該平台為國產標準化前道光刻裝備架構，適配I-line、KrF兩類主流技術路線，整機核心的高精度物鏡與照明系統、高速雙工件台與掩模台、一體化自動物料傳輸系統、高精度對準調平傳感系統均實現全鏈條自主可控，具備穩定的工藝適配能力與產線運行可靠性。據悉，目前中國國產前道乾式光刻機成像性能已與國際同類領先產品水平相當，套刻精度、生產效率緊密追趕國際標桿。在售的SSC800系列KrF與SSB800系列I-line機型，基於自研雙工件台平台，均搭載國產自主大NA物鏡，關鍵曝光成像指標對標國際標桿。SSC800整體性能躋身行業第一梯隊。基於全棧自主可控技術底座，關鍵零部件國產化率突破90%，已實現定型與規模化量產，填補中國空白。多台設備已在國內頭部邏輯、存儲量產線長期穩定運行，累計支持產線流片超千萬片，設備有效運行率超92%。據介紹，SMEE成立於2002年，是中國唯一具備前道乾式光刻機穩定量產交付能力的製造商，也是中國前道光刻裝備自主供給體系的核心支撐主體，業務覆蓋核心光刻裝備的設計研發、生產製造、市場銷售與全流程技術服務。

https://big5.sputniknews.cn/20261008/1073538201.html

2026

News

cn_CN

中國, 科技, 中國國際進口博覽會