台積電稱將在2024年獲得艾司摩爾最先進的EUV光刻機設備

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台積電 - 俄羅斯衛星通訊社, 1920, 17.06.2022
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據路透社報道,全球最大的芯片製造商台積電研發資深副總經理米玉傑在一個會議上表示,該公司將在2024年獲得艾司摩爾(ASML)的新一代最先進光刻機。
米玉傑並未說明該設備將在何時用於批量生產。
台積電業務開發資深副總經理張曉強稍後做出澄清,表示台積電不會在2024年準備好將新的高數值孔徑EUV光刻機用於生產,該設備將主要用於與合作夥伴的研究目的。
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