中國芯片製造關鍵設備取得重大突破：實現離子注入機全譜系產品國產化

報道援引中國電子科技集團有限公司17日消息稱，該集團旗下裝備子集團攻克系列"卡脖子"技術，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，為中國芯片製造產業鏈補上重要一環，為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。

據介紹，離子注入機是芯片製造中的關鍵裝備。在芯片製造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量並注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片製造設備。

裝備子集團相關負責人表示，下一步，企業將瞄准高端，緊跟先進工藝發展，加速研發適用於更先進工藝節點的離子注入機並積極推動產業化。